一、高純氣體 、特種氣體管道及其閥門附件等的材質應符合工程設計文件的要求。采用低碳不銹鋼管時,其安裝施工應符合規范的規定。二、管路系統的試運轉應包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗和純度測試。三、高純氣體、特種氣體供應設施安裝前,應按工程設計文件和產品說明書的要求,檢查設備及填充的純化材料、閥門和管件的完整性、密封性,并應做檢查記錄。檢查數量:按氣體品種、分系統全數檢查。檢驗方法:觀察檢查、尺量。四、純化設備、特氣柜的搬運、就位應符合下列規定:1搬入潔凈室(區)前應進行清潔,符合...
一、微振控制設施施工(一)一般規定1微振控制設施應與潔凈廠房主體結構、動力公用工程、凈化空調系統、排風系統等相關設施同步施工安裝。2微振控制設施的施工應根據具體工程項目特點,并按微振控制設施的設計、測試和建造程序進行。(二)微振控制設施施工主控項目(1)潔凈廠房的微振控制設施的施工應按下列階段進行測試分析:1現場環境振動測試及分析;2建筑結構振動特性測試及分析;3精密設備儀器安裝場所環境振動測試及分析;4竣工驗收測試及分析。檢查數量:全數檢查。檢驗方法:核查測試分析報告。(2...
一、一般規定(1)屏蔽設施的施工安裝應制定屏蔽體施工方案,嚴格審查圖紙。(2)屏蔽材料選擇、屏蔽體(墻體則包括觀察窗)厚度、屏蔽體結構應嚴格符合設計要求。二、屏蔽體(1)當電磁屏蔽采用混凝土時,其密度不得低于設計要求,并不小于2.35t/m3,骨料宜用重晶石(硫酸鋇),厚度不得小于設計要求。(2)應制定選配混凝土并保證其達到密度大于等于2.35t/m3的措施、混凝土養護過程中產生的溫度與外界溫度之差不超過20℃的措施和澆搗、養護施工縫處理措施,并應制定墻體和屋頂模板支護方案。...
一、原理(1)保持室內為正壓或負壓均能滿足檢驗要求,但條件允許時,負壓潔凈室宜用正壓檢驗,正壓潔凈室宜用負壓檢驗。(2)可按以下方法進行檢測:1.壓力衰減法使室內達到某一壓力(正壓或負壓),關閉加壓或抽負壓系統,觀察壓力隨時間哀減的情況,記錄下壓力衰減到起始壓力的半時所用的時間,即為測量室內正壓或負壓的半衰期。2.恒壓法使室內達到某一正壓,同時向室內補氣,使室壓達到要求的穩定值而不下降時的補氣量即為漏泄量。使室內達到某一負壓,使室壓維持要求的穩定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量...
一、溫濕度的檢測(1)無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應符合下列要求:1室內空氣溫度和相對濕度測定之前,空調凈化系統應已連續運行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數字式溫濕度計;濕度的檢測可采用通風式干濕球溫度計、數字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點傳感器等。根據溫濕度的波動范圍,應選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的最小刻度不宜高于0.4℃,濕度檢測儀表的最小刻度不宜高于2%。測點為房間中間一點,應在溫濕度讀數穩定后記錄。測完室內溫濕度后,還應同時測出室外溫濕度。(2)...
一、一般規定1承擔潔凈室施工的單位應按規范的相關規定,建立質量管理體系。2潔凈室的各級施工人員應有必要的潔凈室施工經歷,明確的分工和職責。3特殊工種作業人員應持證上崗。4施工單位應編制施工組織設計,制定具體工程的施工程序,并按程序對施工全過程實行質量控制。5施工過程中,不得違反設計文件擅自改動系統、參數、設備選型、配套設施和主要使用功能。當修改設計時,應經原設計單位確認、簽字,并得到建設單位的同意,在通知監理方之后執行。6施工安裝的全過程、竣工設施的詳細情況、所有操作和維護程...
一、防靜電地面(1)防靜電地面面層應選擇耐磨、耐腐蝕、耐老化、不產塵、防火并具有穩定持久的防靜電性能的材料制作。(2)在有220V及其以上電壓的場所,其防靜電地面宜使用靜電耗散型材料,其表層的表面電阻應為1×105Ω~1×1010Ω,或體積電阻1×104Ω~1×109Ω(3)具有不燃性能要求的地面宜選用防靜電水磨石和防靜電瓷質地板。二、防靜電水磨石地面(1)防靜電水磨石所用砂、石、水泥嵌條等材料,應符合規范的有關規定。(2)在導電地網上...
一、一般規定1消防系統施工使用的設備、組件和原材料應符合設計要求,并采用符合法定機構檢測確認合格的產品。2消防系統工程施工中采用的工程技術文件、承包合同文件對施工及質量驗收的要求不得低于本規范的規定。3自動噴水滅火系統、氣體滅火系統和火災自動報警系統的工程施工及驗收應符合相應的國家現行有關標準的規定。二、防排煙系統(1)排煙管道的安裝試驗應符合規范的有關規定。(2)排煙管道的隔熱層應采用厚度不小于40mm的不燃絕熱材料。(3)磚、混凝土風道的制作應保證管道的氣密性,灰縫應飽滿...
一、一般規定潔凈室配電系統施工應按現行國家標準《建筑電氣工程施工質量驗收規范》GB 50303的要求,對所需各種材料、管線、盤柜、開關、燈具等檢驗合格后進行。二、線路(1)潔凈區用電線路與非潔凈區線路應分開敷設;主要工作(生產)區與輔助工作(生產)區線路應分開敷設;污染區線路與清潔區線路應分開敷設;不同工藝要求的線路應分開敷設。(2)穿過圍護結構的電線管應加設套管,并用不收縮、不燃燒材料將套管密封。進人潔凈室的穿線管口應采用無腐蝕、不起塵和不燃材料封閉。有易燃易爆氣體的環境,...
一、給水1污染區域特別是微生物污染區域內的供水管,不得與用水設備直接相連,必須有空氣隔斷,配水口應高出用水設備溢出水位,間隔不應小于2.5倍出水口口徑。在供水點和供水管路上均應安裝壓差較高的倒流防止器,供水管上還應設關斷閥,供水管上的倒流防止器和閥門應設在清潔區。2潔凈區的給水管道應涂上醒目的顏色,或用掛牌方式,注明管道內水的種類、用途、流向等。3生活用水系統不應采用鍍鋅鋼管,可選用給水塑料管、不銹鋼管、無縫鋼管,工藝和空調給水系統應選用無縫銅管、聚丙烯管、不銹鋼管,并應采用...