一、微振控制設施施工
（一）一般規定
1微振控制設施應與潔凈廠房主體結構、動力公用工程、凈化空調系統、排風系統等相關設施同步施工安裝。
2微振控制設施的施工應根據具體工程項目特點，并按微振控制設施的設計、測試和建造程序進行。
（二）微振控制設施施工
主控項目
（1）潔凈廠房的微振控制設施的施工應按下列階段進行測試分析：
1現場環境振動測試及分析；
2建筑結構振動特性測試及分析；
3精密設備儀器安裝場所環境振動測試及分析；
4竣工驗收測試及分析。
檢查數量：全數檢查。
檢驗方法：核查測試分析報告。
（2）隔振臺、隔振裝置、隔振器等的施工安裝應符合工程設計文件的要求。
檢查數量：全數檢查。
檢驗方法：核查施工安裝記錄。
（3）隔振裝置施工安裝時，應核對空氣彈簧隔振器、阻尼器、限位器、高度調節器，以及配管、底座的規格、數量、尺寸，并應符合設計要求。
檢查數量：全數檢查。
檢驗方法：觀察檢查，尺量。
（4）安裝隔振器的地面、臺板等應平整、清潔；各組(個)隔振器承受荷載的壓縮量應均勻，高度誤差應小于2.0mm。
檢查數量：全數檢查。
檢驗方法：觀察檢查，尺量。
（5）隔振設施安裝時應調整被隔振體高度達到規定值。
檢查數量：全數檢查。
檢驗方法：觀察檢查，尺量。
一般項目
（6）隔振臺的臺板表面應平整、清潔，臺板水平度誤差應符合設計要求，且不宜大于3‰。
檢查數量：全數檢查。
檢驗方法：觀察檢查，尺量。
（7）隔振所用的支、吊架，其結構形式、尺寸應符合設計文件的要求，焊接應牢固，焊縫應飽滿、均勻。
檢查數量：抽查50%。
檢驗方法：核查施工記錄，觀察檢查。
（8）地板或樓板整體式隔振系統，支承結構、地板或樓板應平整、清潔，水平度誤差應符合設計要求。
檢查數量：抽查50%。
檢驗方法：核查施工記錄，觀察檢查。
二、噪聲控制設施安裝
（一）一般規定
（1）噪聲控制設施宜 與建筑裝飾、凈化空調系統、排風系統等設施同步安裝施工。
（2）噪聲控制 設施的安裝施工應符合下列規定：
1應按工程設計文件和設備、材料技術說明書進行安裝；
2各種設備及其附件、材料均應已進行現場檢查、檢驗，且應符合工程設計文件或合約要求，并應進行記錄。
（二）噪聲控制設施安裝
主控項目
（1）消聲器、隔聲罩等噪聲控制設備安裝前，應按工程設計文件和產品說明書的規定，檢查其完整性、嚴密性、規格尺寸等，并應做好記錄。
檢查數量：按系統、用途抽查50%，且不得少于2件。
檢驗方法：觀察檢查，尺量。
（2）消聲器的安裝應符合下列規定：
1安裝位置、方向應正確，與風管或配管的連接應嚴密，不得有損壞與受潮；兩組同類型的消聲器不應直接串聯；
2現場安裝的組合式消聲器，其組件的排列、方向和位置應符合設計要求，單個消聲器組件應可靠固定，消聲器應設獨立支吊架。
檢查數量：整體安裝的消聲器，抽查20%，并不得少于5臺。
檢驗方法：觀察檢查，核查安裝記錄。
（3）隔聲罩、隔聲室的安裝應符合下列規定：
1安裝位置、方向應正確，與主體設備 、結構的連接應嚴密，并應可靠固定。
2檢查門、觀察窗和通風裝置應嚴密，應無損壞或異常；活動部件應靈活，應符合設計要求。
3隔聲材料應均勻滿布，不得有損壞或外露。
檢查數量：全數檢查。
檢驗方法：觀察檢查，敲擊隔聲圍護構造。
（4）潔凈廠房內吸聲設施的施工安裝應符合下列規定：
1吸聲墻體、頂棚或地面等的構造、材質和規格尺寸均應符合設計要求；
2潔凈室(區)內的吸聲設施應表面光滑、易清潔、不起塵。
檢查數量：抽查30%。
檢驗方法：觀察檢查，敲擊圍護構造，尺量。
一般項目
（5）消聲器的安裝還應符合下列規定：
1消聲器安裝前應保持干凈，并應做到無油污和浮塵；
2消聲器、消聲彎管的安裝均應設獨立的支(吊)架。
檢查數量：整體安裝者，抽查20%；現場組裝時，全數檢查。
檢驗方法：觀察檢查。
（6）隔聲罩、隔聲室的安裝應符合下列規定：
1安裝前應保持清潔，并應做到無油污和浮塵；
2安裝后應對內、外表面進行擦拭，并應保持清潔、無塵。
檢查數量：抽查20%。
檢驗方法：觀察檢查。
（7）潔凈廠房內吸聲設施的施工安裝應符合下列規定：
1吸聲設施的表面應符合設計要求；
2吸聲材料不得有損壞或明顯的外露。
檢查數量：抽查20%
檢驗方法：觀察檢查，尺量。
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